12月23日，集团旗下基金投资的江苏微导纳米科技股份有限公司（688147）成功登陆科创板，成为集团体系2022年第19家IPO企业。

微导纳米为国内原子层沉积技术领军企业，成立于2015年，公司以原子层沉积（ALD）技术为核心，专注于先进微米级、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产与应用，业务涵盖集成电路、光伏、LED、MEMS等半导体相关领域及柔性电子领域。公司ALD设备率先用于光伏电池片生产过程中的薄膜沉积环节，已与通威太阳能、隆基股份等国内前十大太阳能电池片生产商均建立了战略合作关系。此外，公司研发的半导体薄膜沉积设备，成功将High-k原子层沉积设备应用于28nm节点集成电路生产线，在国内是首家，其技术水平、工艺要求更高，有效填补了国内空白，达到国际先进水平，是国家专精特新“小巨人”企业的杰出代表。

近年来我国新能源及半导体行业近年来发展迅速。在光伏领域，为推进“双碳”目标早日实现，光伏发电行业加速扩张，高性能光伏专用设备市场规模呈持续增长态势；在半导体领域，随着技术发展，市场对器件尺寸和材料提出更高要求，部分核心工艺传统方式难以实现，而薄膜沉积设备以及ALD技术为代表的高端设备和工艺在其中扮演着愈来越重要的角色。

此次成功上市将有助于微导纳米提升科研实力，助力国内薄膜沉积设备与技术的发展以及行业高端装备的国产化替代，推动公司加快成长为世界一流的微纳制造装备领军企业。